Predicting the effects of plasma-induced damage on p–n junction leakage and its application in the characterization of defect distribution

نویسندگان

چکیده

Understanding the effects of defect creation during plasma exposure is crucial for designing future ultra-low leakage current devices. Created defects play a role as carrier conduction paths, leading to an increase in p–n junction (ΔJpn). Herein, we propose model focusing on created ΔJpn combination with technology computer-aided design simulations. Three different spatial distributions, ndam(x), (linear, exponential, and Gaussian) were implemented predicting under various operating conditions. It was confirmed that strongly dependent addition total number generally accepted energy levels. The prediction experimentally assign profile by emerging mechanism—lateral straggling incident ions—under fluorocarbon-containing exposure, which commonly employed electrical contact opening steps. Devices lateral widths areas exposed plasma. experimental results revealed direction exponential. proposed scheme useful processes circuit layouts realize

برای دانلود رایگان متن کامل این مقاله و بیش از 32 میلیون مقاله دیگر ابتدا ثبت نام کنید

اگر عضو سایت هستید لطفا وارد حساب کاربری خود شوید

منابع مشابه

extraction and characterization of allium irancum plant extract and its application in the green synthesis of silver nano particles and oxidation of thiocarbony1 compounds

سنتز سبز نانوذرات فلزی (nps) درسالهای اخیر توجه بسیارزیادی را به خود جلب کرده است. زیرا این پروتوکل کم هزینه وسازگار با محیط زیست از روش های استاندارد سنتز. در این پایان نامه ما گزارش میکنیم یک روش ساده و سازگار با محیط زیست برای سنتز نانوذرات نقره با استفاده از محلول آبی عصاره گیاه allium iranicum به عنوان یک عامل کاهش دهنده ی طبیعی. نانو ذرات نقره مشخص شد با استفاده از تکنیک های uv-visible، x...

the survey of the virtual higher education in iran and the ways of its development and improvement

این پژوهش با هدف "بررسی وضعیت موجود آموزش عالی مجازی در ایران و راههای توسعه و ارتقای آن " و با روش توصیفی-تحلیلی و پیمایشی صورت پذیرفته است. بررسی اسنادو مدارک موجود در زمینه آموزش مجازی نشان داد تعداد دانشجویان و مقاطع تحصیلی و رشته محل های دوره های الکترونیکی چندان مطلوب نبوده و از نظر کیفی نیز وضعیت شاخص خدمات آموزشی اساتید و وضعیت شبکه اینترنت در محیط آموزش مجازی نامطلوب است.

the effects of changing roughness on the flow structure in the bends

flow in natural river bends is a complex and turbulent phenomenon which affects the scour and sedimentations and causes an irregular bed topography on the bed. for the reason, the flow hydralics and the parameters which affect the flow to be studied and understand. in this study the effect of bed and wall roughness using the software fluent discussed in a sharp 90-degree flume bend with 40.3cm ...

the effects of planning on accuracy and complexity of iranian efl students’ written narrative task performance

this study compared the different effects of form-focused guided planning vs. meaning-focused guided planning on iranian pre-intermediate students’ task performance. the study lasted for three weeks and concentrated on eight english structures. forty five pre-intermediate iranian students were randomly assigned to three groups of guided planning focus-on-form group (gpfg), guided planning focus...

15 صفحه اول

ذخیره در منابع من


  با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید

ژورنال

عنوان ژورنال: Journal of vacuum science and technology

سال: 2022

ISSN: ['2166-2746', '2166-2754']

DOI: https://doi.org/10.1116/6.0002181